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TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學原理，對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)根據反射回來的干涉光，用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。
SGC-10薄膜測厚儀適用于介質，半導體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀，是我公司與美國new-span公司合作研制的，采用new-span公司*的薄膜測厚技術，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學常數（折射率n，消光系數k）。
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