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實驗室分析設備
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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合*的頻率測量技術，進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，用于對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。
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