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德國小型渦輪分子泵EQ-PV-HVS配有KF40真空波紋管和KF25真空計,真空范圍從10-3mbar -10-7mbar,啟動后短時間即可獲得較高的真空水平,且運行噪音非常低。
高質真空泵(240L/min)YTP550-4E16A是可連續(xù)24h工作的旋片式真空泵,其出氣口上配有立式油污過濾器,可以減少泵油的損耗,同時避免環(huán)境污染。
進口無油真空泵(226L/min)ACP15因為泵內無油,所以在真空狀態(tài)下無油霧產生,從而為實驗提供了一個潔凈的低壓環(huán)境,特別適合與我司管式爐配合使用,組成低壓CVD系統(tǒng)。
單級旋片式真空泵TW-3A配有油污過濾器,可以過濾真空泵在工作時產生的油煙,不僅保護人體健康,而且避免對環(huán)境的污染。