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GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

簡要描述:GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀專門為在基底上鍍金屬膜(如金、鉑、銦、銀等)而設(shè)計,Z大放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達300Å,特別適用于為SEM樣品鍍金而作為導(dǎo)電極。

  • 產(chǎn)品型號:GSL-1100X-SPC-12
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-05
  • 訪  問  量:1908

詳細介紹

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產(chǎn)品型號

    GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

主要特點

    1、可以調(diào)節(jié)電流大小,可設(shè)置濺射時間。

    2、已經(jīng)過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

    1、輸入電源:208V-240V  50Hz/60Hz

    2、樣品臺:Φ60mm,高度可調(diào)節(jié)

    3、石英腔體:Φ100mm×130mm

    4、進氣口:內(nèi)部裝有閥門,可以向腔體內(nèi)通入各種氣體

    5、靶材:純度為4N的金靶,Φ57mm×0.12mm

                      

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

可選配件

    1、Au(Φ57mm×0.12mm,4N

    2Pt(Φ57mm×0.12mm,4N

    3、Ag(Φ57mm×0.5mm,4N

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