PCE-3等離子清洗機

簡要描述：PCE-3等離子清洗機使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染，在射頻電源的作用下，Z大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。

產(chǎn)品型號：PCE-3
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2018-11-05
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	價格區(qū)間	2萬-5萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)

PCE-3等離子清洗機的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體，輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備，在射頻電源的作用下，去除速率可達(dá)10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機配有一個真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空，同時通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。

產(chǎn)品名稱	PCE-3等離子清洗機
產(chǎn)品型號	PCE-3
主要特點	1、使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置低、中、高功率。 2、桌上型設(shè)備，結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。
技術(shù)參數(shù)	1、輸入電壓：110V/220V、50Hz/60Hz （請?zhí)崆斑x定），小于100W 2、輸出功率：13.56MHz 3、等離子直流電源：低功率設(shè)定—680V，10mA，6.8W；中功率設(shè)定—700V，15mA，10.5W；高功率設(shè)定—720V，25mA，18W 4、等離子腔室：Ø75mm×165mm，耐熱玻璃，前蓋可拆卸 5、通入氣體：可通入多種氣體，如N2、Ar、空氣、混合氣體等，主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定 6、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar），可選擇數(shù)字真空表，針閥控制氣體流量，采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：200mm×250mm×210mm；重量：8kg（不含泵）
注意事項	不能使用可燃性氣體
可選配件	本司研發(fā)的電阻真空計以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。